糾偏控制器依據(jù)EPC 系統(tǒng)動(dòng)力裝置的不同,一般可分為機(jī)電式、電液壓式、氣動(dòng)液壓式和磁性式,首要由三大部分組成:傳感器、控制器、機(jī)電驅(qū)動(dòng)器。首要由五大部分組成:傳感器、控制器、電液伺服閥、電液壓動(dòng)力裝置、液壓驅(qū)動(dòng)器。首要由四大部分組成:傳感器、氣動(dòng)液壓伺服閥、氣動(dòng)液壓動(dòng)力裝置、液壓驅(qū)動(dòng)器。

這種控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)大同小異,其中均包含有傳感器,它又可以分為紅外線(xiàn)傳感器、反射式紅外線(xiàn)傳感器、超聲波傳感器、數(shù)字傳感器、氣動(dòng)傳感器、激光傳感器、攝像式傳感器,其中機(jī)電式和電液壓式首要以紅外線(xiàn)傳感器和超聲波傳感器運(yùn)用最多。機(jī)電式和電液壓式EPC 系統(tǒng)還有一個(gè)控制器,此類(lèi)控制器操作簡(jiǎn)略,功能強(qiáng)大,在薄膜高速出產(chǎn)時(shí),具有極高的動(dòng)態(tài)照應(yīng)水平緩檢測(cè)精度,不只能實(shí)時(shí)監(jiān)控,還能完成長(zhǎng)途控制。機(jī)電式EPC 驅(qū)動(dòng)首要依托電動(dòng)推桿,它設(shè)備簡(jiǎn)略、反沖小、免保護(hù);它是由控制器直接驅(qū)動(dòng),所以具有最靈敏的動(dòng)態(tài)照應(yīng)功能,其典型的精度過(guò)失小于0.002s。可是,此類(lèi)推桿首要是靠皮帶、絲桿或許齒輪傳動(dòng),在安裝過(guò)失、長(zhǎng)期磨損等情況下,其運(yùn)用壽數(shù)不及氣動(dòng)液壓式和電液式EPC 系統(tǒng).氣動(dòng)液壓式EPC 系統(tǒng)首要依托氣動(dòng)液壓伺服閥控制油缸驅(qū)動(dòng),最大特點(diǎn)是工作平穩(wěn).與機(jī)電式EPC 驅(qū)動(dòng)不同的是,它是通過(guò)氣動(dòng)傳感器來(lái)盯梢邊膜位置,將勘探后氣壓信號(hào)直接反應(yīng)到氣動(dòng)液壓伺服閥.由于薄膜離氣源口有一段距離,所以動(dòng)態(tài)照應(yīng)精度不如機(jī)電式控制方法.再者,糾偏控制器所運(yùn)用的液壓油在雜質(zhì)污染等情況下會(huì)堵塞油路,因此保護(hù)頻率較高.電液壓式EPC 系統(tǒng)則綜合了這兩種控制方法的利益,運(yùn)用紅外或超聲波傳感器完成精準(zhǔn)勘探,通過(guò)控制器將信號(hào)反應(yīng)給電液壓伺服閥,完成控制器的精準(zhǔn)控制。不只避免了氣動(dòng)傳感器動(dòng)態(tài)照應(yīng)水平不夠高的缺陷,還保留了氣動(dòng)液壓式工作平穩(wěn)的利益,但相同也存在油路雜質(zhì)問(wèn)題。